K19 燃料圧力センサー 2897690 カミンズディーゼルエンジンアクセサリー用

1. 半導体バリスタ式吸気圧センサー。

(1) 半導体ピエゾ抵抗圧力センサの測定原理 半導体ピエゾ抵抗圧力センサは、半導体のピエゾ抵抗効果を利用して圧力を対応する電圧信号に変換するもので、その原理を図 8-21 に示します。

半導体ひずみゲージは、引っ張ったり押したりすると抵抗値が変化する感応素子の一種です。ひずみゲージはシリコン ダイアフラムに取り付けられ、ホストン ブリッジを形成するように接続されます。シリコンダイヤフラムが変形すると、各ひずみゲージが引っ張られたり押されたりして抵抗が変化し、ブリッジには対応する電圧出力が生じます。

(2) ピエゾ抵抗型吸気圧センサの構造 半導体ピエゾ抵抗型吸気圧センサの構成を図 8-22 に示します。センサーの圧力変換素子にはシリコンダイヤフラムがあり、シリコンダイヤフラムの圧縮変形により対応する電圧信号が生成されます。シリコンダイヤフラムの片面は真空、もう片面には吸気管の圧力が導入されます。吸気管内の圧力が変化すると、それに応じてシリコンダイヤフラムの変形が変化し、吸気圧に応じた電圧信号が発生します。入口圧力が高くなるほど、シリコンダイヤフラムの変形も大きくなり、センサーの出力圧力も大きくなります。

半導体バリスタ式吸気管圧力センサは、直線性が良く、構造が小さく、精度が高く、応答特性が良いという利点があります。

1) 周波数検出型：感圧素子の容量値により発振回路の発振周波数が変化し、整流・増幅後、圧力に応じた周波数のパルス信号を出力します。

2) 電圧検出型：感圧素子の静電容量値の変化を搬送波と交流増幅回路で変調し、検波回路で復調し、フィルタ回路でフィルタリングして圧力変化に応じた電圧信号を出力します。