日立 KM11 油圧センサー EX200-2-3-5 に最適

圧力センサーの4つの圧力テクノロジー

1. 容量性

静電容量式圧力センサーは、通常、多数の OEM プロフェッショナル アプリケーションで好まれています。2 つの表面間の静電容量の変化を検出することで、これらのセンサーは極度に低い圧力および真空レベルを感知できるようになります。当社の典型的なセンサー構成では、コンパクトなハウジングは、間隔が狭く、平行で電気的に絶縁された 2 つの金属表面で構成されており、そのうちの 1 つは本質的に圧力下でわずかに曲がるダイアフラムです。これらのしっかりと固定された表面 (またはプレート) は、アセンブリの曲げによってそれらの間のギャップが変化するように取り付けられています (実際には可変コンデンサーを形成します)。結果として生じる変化は、(または ASIC) を備えた高感度リニア コンパレータ回路によって検出され、比例した高レベル信号が増幅されて出力されます。

2.CVDタイプ

化学気相成長 (「CVD」) 製造法により、ポリシリコン層とステンレス鋼のダイヤフラムが分子レベルで結合され、優れた長期ドリフト性能を備えたセンサーが製造されます。一般的なバッチ処理半導体製造方法を使用して、非常に手頃な価格で優れた性能を備えたポリシリコンひずみゲージ ブリッジを作成します。CVD構造はコストパフォーマンスに優れており、OEM用途で最も人気のあるセンサーです。

3. スパッタリング膜の種類

スパッタリング膜堆積 (または「膜」) により、直線性、ヒステリシス、および再現性を組み合わせた最大のセンサーを作成できます。精度はフルスケールの 0.08% 程度ですが、長期ドリフトは毎年フルスケールの 0.06% 程度です。主要機器の並外れたパフォーマンス - 当社のスパッタリング薄膜センサーは、圧力センシング業界の宝です。

4.MMSタイプ

これらのセンサーは、マイクロマシン加工シリコン (MMS) ダイヤフラムを使用して圧力変化を検出します。シリコン ダイヤフラムはオイルを充填した 316SS によって媒体から隔離されており、プロセス流体の圧力と直列に反応します。MMS センサーは一般的な半導体製造技術を採用しており、コンパクトなセンサー パッケージで高耐電圧、良好な直線性、優れた熱衝撃性能と安定性を実現できます。