掘削機の圧力センサーは最も広く使用されているセンサーで、誘導力エネルギー間の気体、液体、固体およびその他の物質を検出するための総称であり、これには誘導力エネルギーも含まれます。
上の気圧を測定する圧力計と下の気圧を測定する真空計。力センサーには多くの種類があり、従来の測定方法は、電気噴射エンジンのメンテナンスを表現するために弾性要素の変形と変位を適用することですが、その体積が大きく、扱いにくく、出力が非線形です。マイクロエレクトロニクス技術の発展に伴い、半導体材料のピエゾ抵抗効果と優れた弾性の応用により、重要なシリコンピエゾ抵抗と容量性の2つである半導体力センサーが開発され、小型、軽量、高感度の利点があり、半導体力センサーで広く使用されています。センサー。半導体が結晶上で上向きの応力を受けると、その抵抗率が変化します。導体の抵抗率変化と応力の関係を半導体ピエゾ抵抗効果といい、この効果を利用した力学量センサをピエゾ抵抗力センサと呼びます。貼り付けられたピエゾ抵抗センサーと呼ばれる弾性要素。もう 1 つは、半導体材料の基板上の集積回路技術で作られた拡散抵抗で、ひずみゲージとシリコン基板が同じセンサー全体を形成しており、拡散ピエゾ抵抗センサーと呼ばれます。高感度、高精度、小型、軽量、高作動頻度、シンプルな構造、確実な作動、長寿命という特徴を持っています。