カーター掘削機用エンジン圧力センサー 2CP3-68 1946725

以下の工程を含むことを特徴とする圧力センサーの製造方法。

Ｓ１、裏面および表面を有するウェーハを提供する。ウェハの前面にピエゾ抵抗ストリップと高濃度にドープされた接触領域を形成する。ウェーハの裏面をエッチングして圧力深いキャビティを形成する。

Ｓ２、ウエハの裏面に支持シートを貼り付ける。

Ｓ３、ウェーハの前面にリード穴と金属ワイヤを製造し、ピエゾ抵抗ストリップを接続してホイートストンブリッジを形成する。

Ｓ４、ウェハの前面にパッシベーション層を堆積および形成し、パッシベーション層の一部を開口して金属パッド領域を形成する。【請求項２】 請求項１に記載の圧力センサの製造方法であって、 前記Ｓ１は、具体的には以下の工程を含む、圧力センサの製造方法。Ｓ１２：ウェハの前面にイオン注入が使用され、ピエゾ抵抗ストリップが高温拡散プロセスによって製造され、コンタクト領域が高濃度にドープされる。Ｓ１３：ウェハの前面に保護層を堆積および形成する。Ｓ１４：ウエハの裏面に圧力深いキャビティをエッチングして形成し、感圧膜を形成する。【請求項３】 前記ウエハはＳＯＩであることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサの製造方法。

1962 年にタフテら。は、拡散シリコンピエゾ抵抗ストリップとシリコン膜構造を備えたピエゾ抵抗圧力センサーを初めて製造し、ピエゾ抵抗圧力センサーの研究を開始しました。1960年代後半から1970年代前半にかけて、シリコン異方性エッチング技術、イオン注入技術、陽極接合技術という3つの技術の登場により、圧力センサは大きく変化し、圧力センサの性能向上に重要な役割を果たしました。 。1980年代以降、異方性エッチング、リソグラフィー、拡散ドーピング、イオン注入、ボンディング、コーティングなどの微細加工技術のさらなる発展により、圧力センサーのサイズは継続的に縮小され、感度が向上し、高出力になりました。パフォーマンスは素晴らしいです。同時に、新しいマイクロマシニング技術の開発と応用により、圧力センサーの膜厚を正確に制御します。