2 つの測定ポートを備えたシングルチップ真空発生器 CTA(B)-B

真空発生器の吸引性能解析

1. 真空発生器の主な性能パラメータ

① 空気消費量：ノズルから流出する流量qv1を指します。

②吸入流量：吸入口から吸入される空気流量qv2を指します。吸込ポートが大気開放されているときの吸込流量が最も大きくなり、これを最大吸込流量qv2maxといいます。

③吸入口圧力：Pvとして記録。吸引ポートが完全に閉じているとき (たとえば、吸引ディスクがワークピースを吸引するとき)、つまり吸引流量がゼロのとき、吸引ポート内の圧力は最低となり、Pvmin として記録されます。

④ 吸引応答時間：吸引応答時間は真空発生器の作動性能を示す重要なパラメータであり、逆転弁が開いてからシステムループ内で必要な真空度に達するまでの時間を指します。

2. 真空発生器の性能に影響を与える主な要因

真空発生器の性能は、ノズルの最小直径、収縮および拡散チューブの形状と直径、対応する位置、ガス源の圧力など、多くの要因に関係します。 【図２】真空発生器の吸込口圧力、吸込流量、空気消費量、供給圧力の関係を示すグラフである。供給圧力がある値に達すると、吸込入口圧力が低くなり、吸込流量が最大になることを示しています。供給圧力が上昇し続けると吸込口圧力が上昇し、吸込流量が減少します。

①最大吸込流量qv2maxの特性解析：真空発生器の理想的なqv2max特性は、qv2maxが一般的な供給圧力（P01=0.4～0.5MPa）の範囲内で最大値となり、P01に対して滑らかに変化することが必要です。

(2) 吸入口圧力 Pv の特性解析：真空発生器の理想的な Pv 特性は、Pv が一般的な供給圧力（P01 = 0.4 ～ 0.5 MPa）の範囲内で最小値にあり、圧力に応じて滑らかに変化することが求められます。 Pv1。

(3) 吸込口騒音が完全に閉じた状態で、特定の条件における吸込口圧力 Pv と吸込流量の関係を図 3 に示します。吸込口と吸込流量に応じて、多段真空発生器を直列に組み合わせて設計できます。