2 つの測定ポートを備えたシングルチップ真空発生器 CTA(B)-A

真空発生器の性能に影響を与える主な要因

1 散気管の長さは、散気管の出口部分でほぼ均一な流れが得られるように、ノズル出口でさまざまな波システムが十分に発達することを保証する必要があります。ただし、配管が長すぎると配管壁の摩擦損失が大きくなります。一般的な配管工の場合、パイプ径の 6 ～ 10 倍が妥当です。エネルギーロスを低減するために、散気管の直管出口に膨張角6～8度の膨張部を追加することができます。

2 吸着応答時間は吸着キャビティの容積 (拡散キャビティ、吸着パイプライン、吸引カップや密閉チャンバーなどの容積を含む) に関係し、吸着面の漏れは必要な圧力に関係します。吸引口。吸引ポートでの特定の圧力要件の場合、吸着キャビティの容積が小さくなるほど、応答時間は短くなります。吸込口圧力が高いと吸着量は小さくなり、表面漏れも少なくなり、吸着応答時間は短くなります。吸着量が多く吸着速度が速い場合には、真空発生器のノズル径を大きくする必要があります。

3 真空発生器の空気消費量（L/min）は、使用条件を満たすことを前提として低減してください。空気消費量は圧縮空気の供給圧力に関係します。圧力が高くなるほど、真空発生器の空気消費量も多くなります。したがって、吸込ポートの圧力デューティを決める際には、供給圧力と空気消費量の関係に注意してください。一般に真空発生器により発生する吸入口の圧力は20kPa～10kPa程度です。このとき、中国供給用のメーターの圧力が再び上昇すると、吸入口の圧力は下がらず、ガス消費量が増加します。したがって、流量制御の観点から吸入口の減圧を考慮する必要があります。